國家重大科學儀器設備開發項目在成都啟動【文匯網訊】（香港文匯網記者 向芸 成都報道）10月9日，由成都高新區企業成都太科光電牽頭，協同國內多家大學、研究所和企業實施的國家重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目「超光滑表面無損檢測儀」正式啟動。據悉，這是2016年國家「十三五」重點研發計劃首批開發項目之一，也是四川省首個及唯一一個國家重點研發計劃「重大科學儀器設備開發」專項項目。
「這個檢測儀相當於微電子芯片生產製造中的『卡尺』。」成都太科光電總經理趙智亮表示，芯片是由多層構成且呈透明或半透明狀態，傳統檢測設備是單點掃瞄，效率低，而且會與芯片進行接觸，對其造成一定「傷害」。「今日啟動研發的超光滑表面無損檢測儀，採用非接觸式測量和多表面分離算法，以儀器系統化與集成化結合多表面干涉重疊條紋分離算法為突破口，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，研發成功後將打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。」
據了解，該儀器主要用於高精度非接觸測量，可廣泛應用於高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體製造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片的關鍵參數快速檢測，還可應用於大型現代光學工程系統，如大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。
「項目完成後，將研製數台超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產權的系列化產品和關鍵技術與產業化路線，為未來產業化發展提供工藝路線。」趙智亮說，2020年項目研發完成，預計項目驗收後三年內，完善儀器產品化所有流程，基本形成產品化的標準工藝流程。
責任編輯：星空